LAUDA: новая линейка термоэлектрических технологических термостатов

27 апреля 2020

Термоэлектрические технологические термостаты, которые используются для контроля температуры процессов травления в полупроводниковой промышленности, стали неотъемлемой частью обширного портфеля LAUDA с момента его приобретения компанией Noah Precision (теперь LAUDA-Noah) в 2014 году. Теперь лидер мирового рынка полностью Пересмотр и расширение бывшей продуктовой линейки ПМ новой серией «Семистат».

Новая линейка продуктов LAUDA Semistat включает в себя три модели: Semistat S 1200 от LAUDA - это доступное устройство начального уровня, занимающее еще меньшую площадь, чем его предшественник, с той же охлаждающей мощностью 1,2 кВт при 20 ° C. Между тем, недавно разработанный Semistat S 2400 сохраняет механическую и гидравлическую структуру производственной линии. Технологический термостат также включает в себя последние инновации в области термоэлектричества, такие как новейшее поколение высокопроизводительных элементов Пельтье, что гарантирует более высокую плотность мощности и большую надежность. С семистатом 4400 LAUDA вывела на рынок совершенно новый класс производительности с мощностью охлаждения 4,4 кВт. Этот технологический термостат специально разработан для применений с использованием 300 мм пластин с высокими требованиями к охлаждающей способности при низких температурах.

Термоэлектрические технологические термостаты для полупроводниковой промышленности от -20 до 90 ° C

Технологические термостаты Semistat были оптимизированы для точного контроля температуры в приложениях плазменного травления в полупроводниковой промышленности. Определенные области удаляются с поверхности пластин в процессе травления. Динамический регулятор температуры поддерживает фиксаторы пластин, расположенные внутри камеры плазменного травления, при постоянной температуре, чтобы предотвратить температурный дрейф. Постоянная температура имеет решающее значение для поддержания стабильного профиля травления и получения высококачественной поверхности. Технология Peltier реализует два основных преимущества термостатов Semistat: экономия энергии и пространства в сочетании с максимальной долговременной стабильностью работы.

Новые технологические термостаты чрезвычайно энергоэффективны, потому что они контролируют температуру и потребляют энергию только тогда, когда необходимо регулировать температуру внутри камеры травления. Поскольку элемент Пельтье является единственным компонентом, используемым для нагрева и охлаждения, можно минимизировать требования к пространству термостата. Компактный дизайн и опциональная установка под полом гарантируют, что в дорогих чистых помещениях будет занимать минимальное пространство. Небольшой внутренний объем жидкости и короткие шланговые соединения от устройства к применению означают, что для контроля температуры жидкости требуется меньше энергии. В частности, низкий объем жидкости для контроля температуры позволяет быстро менять температуру. Системы контроля температуры Semistat потребляют на 90% меньше энергии, чем системы на базе компрессоров.

Как и его предшественник, линейка продуктов Semitat имеет диапазон рабочих температур от -20 до 90 ° C и обеспечивает стабильность при высоких температурах ± 0,1 К. При охлаждающей мощности от 1,2 до 4,4 кВт устройства с водяным охлаждением могут использоваться в комбинация с большим разнообразием моделей камер и платформ.

Важнейшие функции технологических термостатов LAUDA Semistat

Компрессор и система без хладагента с низким потреблением энергии
Наименьший след в отрасли
Чрезвычайно низкий объем теплоносителя
Использование перфторированных жидкостей
Улучшенная доступность и минимальное использование чистых помещений
Не требуется никаких фильтров или компонентов DI
Высокая надежность и низкие эксплуатационные расходы
Локально заменяемые модули для упрощения поиска неисправностей
Динамический, стабильный контроль температуры в месте использования
Предотвращение температурного дрейфа для стабильных профилей травления
Улучшенная стабильность между пластинами

Подписаться на рассылку

Переслать другу